臭氧發生器產生臭氧氣體分為三種氣體（氣源），分別是空氣源、富氧源、液氧源。富氧源和液氧源也可以成為氧氣源。

空氣源臭氧發生器系統，是通過空壓機將空氣壓縮到一定壓力（常規壓力0.7-0.8Mpa），經過冷干機、吸附式干燥機、高效油水分離器、三級精密過濾除油除水除塵處理之后進入儲氣罐，最后進過進氣壓力調整流入臭氧放電室。

富氧源臭氧發生器系統，是通過空壓機將空氣壓縮到一定壓力（常規壓力0.7-0.8Mpa），經過冷干機、吸附式制氧機、高效油水分離器、活性炭過濾器、三級過濾除油除水除塵處理之后進入儲氣罐，最后進過進氣壓力調整流入臭氧放電室。

液氧源臭氧發生器系統，是將液氧站里的液態氧通過氣化器氣化成臭氧發生器所需的氣態氧氣再經過穩壓裝置穩壓穩流之后流入臭氧放電室。